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介绍了基于国产6JA干涉显微镜的智能三维轮廓测量仪。仪器的垂直测量范围达80μm，垂直分辨率达1nm；仪器可用于多种材料、多种形状的轮廓测量，只需几秒钟即可完成一个取样表面的二维和三维自动测量与评定。给出了对标准样板的测量结果，实验表明仪器总测量误差小于5％。
高精度智能三维轮廓测量仪
【摘 要】
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介绍了基于国产6JA干涉显微镜的智能三维轮廓测量仪。仪器的垂直测量范围达80μm，垂直分辨率达1nm；仪器可用于多种材料、多种形状的轮廓测量，只需几秒钟即可完成一个取样表面的
【机 构】
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华中科技大学机械科学与工程学院,武汉理工大学机电科学与工程学院,华中科技大学机械科学与工程学院
【出 处】
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机械制造
【发表日期】
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2006年6期
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