【摘 要】
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基于JC09光栅尺位移传感器,根据几何光学原理,分析计算了光栅副间隙的最佳理论值和允许的误差范围。针对JC09光栅尺,给出了实际工程中可操作的间隙范围。
【机 构】
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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
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基于JC09光栅尺位移传感器,根据几何光学原理,分析计算了光栅副间隙的最佳理论值和允许的误差范围。针对JC09光栅尺,给出了实际工程中可操作的间隙范围。
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