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考察了C+注入对Ti、Al和Ag等3种金属/氧化物体系的硬度、膜基结合强度和摩擦学性能的影响.结果表明,C+注入可以显著提高Ti、Al和Ag 金属/氧化物的硬度和膜基结合强度,从而改善摩擦学性能.C+注入使得Ti膜体相和界面处产生Ti-C固溶体,这是Ti膜耐磨寿命得以提高的主要原因.
C^＋注入对金属／SiO2体系摩擦学行为的影响
【摘 要】
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考察了C+注入对Ti、Al和Ag等3种金属/氧化物体系的硬度、膜基结合强度和摩擦学性能的影响.结果表明,C+注入可以显著提高Ti、Al和Ag 金属/氧化物的硬度和膜基结合强度,从而改
【机 构】
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中国科学院兰州化学物理研究所
【出 处】
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摩擦学学报
【发表日期】
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2002年5期
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