【摘 要】
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为改善ZnO系、SnO_2系和Fe_2O系等酒敏材料的气敏选择性和稳定性,人们开始研制ABO_3型酒敏材料,因为它们能表现出良好的稳定性和选择性.敏感元件厚膜化工艺简单,操作易于控制
【机 构】
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西安交通大学电子系,西安交通大学电子系,西安交通大学电子系
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为改善ZnO系、SnO_2系和Fe_2O系等酒敏材料的气敏选择性和稳定性,人们开始研制ABO_3型酒敏材料,因为它们能表现出良好的稳定性和选择性.敏感元件厚膜化工艺简单,操作易于控制,元件性能一致性好;能促使器件向小型化和集成化发展;结构设计更加灵活,因之厚膜化具有重要意义.1 La_(1-x)Sr_xCo(1-y)Fe_yO_3厚膜的制造工艺
In order to improve the gas sensitivity and stability of alcohol-sensitive materials such as ZnO, SnO_2 and Fe_2O, ABO_3 alcohol-based materials have been developed because of their good stability and selectivity. The process is simple, the operation is easy to control, the performance of components is consistent, the device can be miniaturized and integrated, the structural design is more flexible, and the thick film has great significance.1 La_ (1-x) Sr_xCo (1-y ) Fe_yO_3 thick film manufacturing process
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