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磁控射频溅射法制备光波导薄膜研究
磁控射频溅射法制备光波导薄膜研究
来源 :光电子技术与信息 | 被引量 : 0次 | 上传用户:caohuyue
【摘 要】
:
采用磁控射频溅射法制备了用作光波导器件的玻璃薄膜.通过选取不同的溅射材料,在不同溅射条件下制备的玻璃薄膜的光学参数进行的测量、比较,并对其作为光波导的性能进行研究,
【作 者】
:
胡雪涛
李佐宜
林更琪
王浩敏
廖红伟
【机 构】
:
华中科技大学电子科学与技术系
【出 处】
:
光电子技术与信息
【发表日期】
:
2001年1期
【关键词】
:
玻璃薄膜
磁控溅射
光波导
glass thin-film
magnetron sputtering
optical waveguides
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采用磁控射频溅射法制备了用作光波导器件的玻璃薄膜.通过选取不同的溅射材料,在不同溅射条件下制备的玻璃薄膜的光学参数进行的测量、比较,并对其作为光波导的性能进行研究,通过理论上推导与计算,得出了在1.55μm窗口下制备光波导器件的玻璃薄膜所应具备的溅射条件.
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