【摘 要】
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超导纳米线单光子探测器件(SNSPD)是超导单光子探测系统的核心器件。文中介绍了成功制备的基于5nm厚的NbN超导超薄薄膜的SNSPD器件。器件核心结构为150nm宽的纳米曲折线结构,
【机 构】
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中国科学院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室; 温州大学纳米材料与化学重点实验室; Tata Institute of Fundamental Research,
【基金项目】
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自然科学基金(60801046);科技部973项目(2009CB929602);上海市科学技术委员会(08dz1400702,08PJ1411200,09DJ1400700)资助项目
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超导纳米线单光子探测器件(SNSPD)是超导单光子探测系统的核心器件。文中介绍了成功制备的基于5nm厚的NbN超导超薄薄膜的SNSPD器件。器件核心结构为150nm宽的纳米曲折线结构,纳米线条占空比为75%,面积为20μm×20μm。超导纳米线是利用电子束曝光(EBL)技术和反应离子刻蚀(RIE)等工艺技术制备的。所制备的SNSPD样品,在温度3.5K下的临界电流约12.9μA;在1310nm波长光波辐照,12.5μA的偏置电流下,探测效率约0.016%。
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