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电磁场分布及其对各种带电粒子的约束情况对磁控溅射过程有着决定性的影响。本文首先利用物理场耦合分析软件Comsol3.2a分析了直流磁控溅射电磁场的分布,并且计算分析了单个带电粒子的运动情况。在此基础上,计算分析了带电粒子束流在电磁场中的运动情况、空间分布,得到了磁控溅射电磁场区域分布、单个电子的运动轨迹及带电粒子在空间区域中位置分布。