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以正硅酸乙酯(TEOS)为原料,采用溶胶-凝胶技术在多孔陶瓷载体上制备出具有3.0nm孔径的SiO2陶瓷膜。考察了制膜过程中TEOS、乙醇、水的相对量;酸碱催化和pH值;热处理温度及成膜助剂对膜性能的影响。在自制的单管膜分离器上,测定了O2、N2、CO2和CH4等气体在SiO2陶瓷膜上的渗透性能。