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采用超声喷雾热分解（Ultrasonic Spray Pyrolysis，USP）方法，以醋酸锌、醋酸镁、醋酸铵、氯化铝的混合水溶液为前驱溶液，在单晶Si（100）衬底上制备了ZnO，Zn0.81Mg0.19O，N-Al共掺杂ZnO和N-Al共掺杂Zn0.81Mg0.19O薄膜。以X射线衍射（XRD）、场发射-扫描电镜（FE—SEM）、霍尔效应（Hall—effect）、光致发光（Photoluminescence，PL）谱等手段研究了薄膜的晶体结构、表面形貌、电学性能、光学性能和带隙变化。电学测试结果表