真空蒸镀铝用碳──石墨蒸发舟应用技术综述

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碳-石墨蒸发舟(亦称石墨加热器、石墨坩埚)是真空镀膜技术应用中的关键部件,长期以来未得到足够的重视,不少单位使用代用品,如用5×18×355mm的气创碳棒;多种型号的人造石墨制品边角料加工件。因此,型号杂乱,质量不稳定,加上操作者对碳-石、墨的特性缺乏了解,生产过程中出现多种多样的问题。本文就碳-石墨材料的有关特性和镀膜工艺对破-石墨蒸发舟的主要技术要求以及当前不少使用单位在操作上存在的问题作一综述和探讨。
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