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详细介绍了双框架结构的硅微型机械振动陀螺的工作原理及工艺，设计并试制了挠性轴厚度为０．μｍ的三种不同尺寸的双框架结构的硅微型机械振动陀螺的样品，其机械结构的主要尺寸误差可控制在１０％以内。
硅微型机械振动陀螺的制备
【摘 要】
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详细介绍了双框架结构的硅微型机械振动陀螺的工作原理及工艺，设计并试制了挠性轴厚度为０．μｍ的三种不同尺寸的双框架结构的硅微型机械振动陀螺的样品，其机械结构的主要尺寸误差可
【机 构】
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东南大学
【出 处】
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传感器技术
【发表日期】
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1996年5期
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