紫外激光盲孔钻孔扫描方法研究

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微盲孔钻孔技术已经成为制约HDI和IC载板技术提高的瓶颈之一。紫外激光(UV)加工技术具有能量高、精度高的优势,成了激光钻孔研究的新热点。文章主要研究了UV激光盲孔钻孔中的同心圆方法、摇摆环(wobble)方法。实验结果表明,在高斯光束的情况下,利用同心圆扫描的方法进行100μm盲孔钻孔时,底部平均深度为(65.24±1.26)岬,孔径比为0.80±0.016;利用摇摆环方法时,底部平均深度控制在(64.40±0.91)μm,孔径比为0.76±0.031。实验结果表
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