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中国电子科技集团公司第四十五研究所是国家电子专用设备研究、开发、制造和相关制作工艺应用研究的专业研究所.是国内唯一具备提供IC制造关键设备--分步投影光刻机的研发单位,是国家IC封装设备产业化示范工程项目承担单位.
全自动键合机、划片机
【摘 要】
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中国电子科技集团公司第四十五研究所是国家电子专用设备研究、开发、制造和相关制作工艺应用研究的专业研究所.是国内唯一具备提供IC制造关键设备--分步投影光刻机的研发单
【出 处】
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中国制造业信息化：学术版
【发表日期】
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2005年11期
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