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氪气和氙气中四氟化碳杂质分析
氪气和氙气中四氟化碳杂质分析
来源 :计测技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:hujialian
【摘 要】
:
介绍了CF4定性定量分析方法,探讨了CF4的来源及清除.
【作 者】
:
温舜德
邓立新
【机 构】
:
武钢氧气有限责任公司
【出 处】
:
计测技术
【发表日期】
:
2005年5期
【关键词】
:
氪气
氙气
CF4
分析
krypton gas
xenon gas
CF1
analysis
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介绍了CF4定性定量分析方法,探讨了CF4的来源及清除.
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