消像差光栅的理论及实验研究

来源 :光学精密工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户：zhjipi07

【摘要】

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对消像差光栅进行了理论和实验研究.用光程函数和费马原理研究光栅的成像,用刻槽分布函数表示光栅的刻槽曲率及间距变化.对成像的理论分析表明光栅刻槽分布函数比刻槽间距更

【作者】

：

朱向冰付绍军叶为全何世平刘颖徐向东洪义麟

【机构】

：

中国科学技术大学,中国科学技术大学,中国科学技术大学

【出处】

：

光学精密工程

【发表日期】

：

2003年4期

【关键词】

：

消像差光栅光程函数费马原理刻槽分布函数成像像差实验研究 groove pattern function aberration aberratio

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对消像差光栅进行了理论和实验研究.用光程函数和费马原理研究光栅的成像,用刻槽分布函数表示光栅的刻槽曲率及间距变化.对成像的理论分析表明光栅刻槽分布函数比刻槽间距更容易表达像差,给出了消像差光栅的表达形式.比较了SD、WFA、LPF等光栅的参数优化方法.探讨了消像差光栅密度的干涉测量法,设计了光路,对光栅密度进行了测量.

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