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随着液晶制程的发展,线宽越来越细,对制程工艺所需的超纯水要求越来越高,本文浅析了超纯水的各水质参数对液晶面板生产的影响.
超纯水水质在液晶面板制程中的影响浅析
【摘 要】
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随着液晶制程的发展,线宽越来越细,对制程工艺所需的超纯水要求越来越高,本文浅析了超纯水的各水质参数对液晶面板生产的影响.
【机 构】
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中芯国际集成电路北京制造有限公司
【出 处】
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沙棘
【发表日期】
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2004年期
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