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在传统常规冷板的理论研究基础上,为解决微小元器件散热,设计了以声表面波为辅助的微米级微通道,并利 用微机电系统（ MEMS）技术制作了微通道与声表面波叉指换能器集成的微型结构,对声表面波破坏液体层流结构、 加速液体混合的功能进行了验证.
基于声表面波的液冷微通道设计研究
【摘 要】
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在传统常规冷板的理论研究基础上,为解决微小元器件散热,设计了以声表面波为辅助的微米级微通道,并利 用微机电系统（ MEMS）技术制作了微通道与声表面波叉指换能器集成的微型结
【机 构】
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中国电子科技集团公司第二十研究所
【出 处】
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舰船电子对抗
【发表日期】
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2017年3期
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