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给出条阵半导体激光器光束消像散准直、聚焦的方法以及折／衍混合准直微光学阵列系统和聚焦系统的设计方法，并设计了一准直聚焦光学系统，准直精度达３ｍｒａｄ～４ｍｒａｄ，聚焦光斑尺寸小于２０μｍ。
半导体激光器阵列光束准直和聚焦系统设计
【摘 要】
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给出条阵半导体激光器光束消像散准直、聚焦的方法以及折／衍混合准直微光学阵列系统和聚焦系统的设计方法，并设计了一准直聚焦光学系统，准直精度达３ｍｒａｄ～４ｍｒａｄ，聚焦光斑尺寸小于２０μｍ。
【机 构】
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中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室,中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重
【出 处】
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光学仪器
【发表日期】
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2000年6期
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