核辐射加固功率晶体管的金属化系统研究

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本文介绍了金属化系统的失效模式和选择金属化系统的基本原则。给出了铝金属化和金多层金属化的实验结果,并进行了比较,最后。在抗辐照功率晶体管中选用了PtSi—Mo—Au多层金属化系统。
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