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核辐射加固功率晶体管的金属化系统研究
核辐射加固功率晶体管的金属化系统研究
来源 :微电子学与计算机 | 被引量 : 0次 | 上传用户:shc200800
【摘 要】
:
本文介绍了金属化系统的失效模式和选择金属化系统的基本原则。给出了铝金属化和金多层金属化的实验结果,并进行了比较,最后。在抗辐照功率晶体管中选用了PtSi—Mo—Au多层金
【作 者】
:
赵丽华
黄焕琴
【机 构】
:
河北半导体研究所,河北半导体研究所石家庄,石家庄,石家庄
【出 处】
:
微电子学与计算机
【发表日期】
:
1989年12期
【关键词】
:
核辐射
功率晶体管
金属化系统
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本文介绍了金属化系统的失效模式和选择金属化系统的基本原则。给出了铝金属化和金多层金属化的实验结果,并进行了比较,最后。在抗辐照功率晶体管中选用了PtSi—Mo—Au多层金属化系统。
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