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本文简要介绍了国外半导体设备发展的走向和特点，重点列举了关键工艺设备的代表产品发展状况，并阐述了国外半导体设备市场及投资趋势。
国外半导体设备发展动态和市场趋势
【摘 要】
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本文简要介绍了国外半导体设备发展的走向和特点，重点列举了关键工艺设备的代表产品发展状况，并阐述了国外半导体设备市场及投资趋势。
【机 构】
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电子工业部第四十五研究所
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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1994年2期
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