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主要介绍一种采用双单片机控制的三维精密工件台快速超精定位系统的工作原理及结构组成，并对系统进行理论和实验分析。为了实现高精度的快速定位，本系统采用了独立伺服控制技术以及变结构的ＰＩＤ自适应控制算法，使定位精度达到±０．０８μｍ（３σ）
亚微米i线投影曝光机三维精密定位工件台控制系统研究
【摘 要】
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主要介绍一种采用双单片机控制的三维精密工件台快速超精定位系统的工作原理及结构组成，并对系统进行理论和实验分析。为了实现高精度的快速定位，本系统采用了独立伺服控制技术
【机 构】
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中国科学院光电技术研究所
【出 处】
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光电工程
【发表日期】
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1998年3期
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