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振动式微硅型加速度传感器的研究
振动式微硅型加速度传感器的研究
来源 :固体电子学研究与进展 | 被引量 : 0次 | 上传用户:tuojing
【摘 要】
:
介绍了振动微硅加速度传感器的工作原理及改进后振动式微硅加速度传感器结构设计的计算结果,并给出了改进后加速度传感器的样品及主要制备工艺。
【作 者】
:
陈德英
茅盘松
【机 构】
:
东南大学电子工程系
【出 处】
:
固体电子学研究与进展
【发表日期】
:
1999年2期
【关键词】
:
振动式
微硅
加速度传感器
制造工艺
VibratorMicromechanicalSiliconAcceleratingSensorSimplifedTech
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介绍了振动微硅加速度传感器的工作原理及改进后振动式微硅加速度传感器结构设计的计算结果,并给出了改进后加速度传感器的样品及主要制备工艺。
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