紫外脉冲激光泽聚氯乙烯(PVC)塑料刻蚀产物的研究

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利用四极质谱和离子能量分析器,测定了紫外激光刻蚀PVC塑料产生的分子,原子和离子产物的质量分布和各种离子的平动能分布,研究了激光通量对刻蚀的影响,发现离子的产生需要比中性产物有更高的激光阈值,讨论了紫外激光对PVC塑料的刻蚀剥离机理。
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