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石墨烯是2004年英国科学家在实验上首次得到的一种新的碳元素结构形态,表现出许多非常奇异的性质。石墨烯的研究正在成为一个令世人密切关注的前沿课题,将对整个凝聚态物质科学的发展和未来信息器件的研制产生巨大而深远的影响。要充分发挥石墨烯的优异性质、实现工业生产与应用、并与现有的硅基技术完美结合,必须找到合适的材料制备方法,使得到的石墨烯可以同时满足3个必要条件：高质量、大面积和与硅工艺兼容。目前常用的方法都无法制备出同时满足这3个条件的石墨烯样品。该研究为解决这一问题,提出了利用无损硅插层的方法制备高质量、大