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在光伏产业中，多晶硅的生产工艺主要有西门子法／改良西门子法、硅烷热分解法、流化床法以及区域熔炼法，其中，采用三氯氢硅（SiHC13）作为原料，改进西门子法供应的太阳能级多晶硅占整个世界太阳能级多晶硅供应量的70％-80％。
锌还原四氯化硅制备多晶硅技术的国内外进展
【摘 要】
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在光伏产业中，多晶硅的生产工艺主要有西门子法／改良西门子法、硅烷热分解法、流化床法以及区域熔炼法，其中，采用三氯氢硅（SiHC13）作为原料，改进西门子法供应的太阳能级多晶硅占整个
【机 构】
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上海太阳能工程技术研究中心有限公司
【出 处】
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新材料产业
【发表日期】
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2010年2期
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