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以CVD金刚石衬底温度场为控制对象,采用复合型模糊控制器,建立一种双模控制系统.详细介绍了控制思路及实现算法,并在模糊控制系统中引入自调整模糊PID算法,实现模糊语言规则及综合推理的实时调节,从而获得较强的适应能力,可在系统参数变化或存在扰动的情况下,保证控制系统具有较好性能.结果表明该控制系统具有较强的鲁棒性.