论文部分内容阅读
本文研究了在本征吸收技术中,硅片中氧外扩散后其浓度纵向分布的特点,提出了一种根据氧的外扩散时间来估算本征吸收技术中洁净区宽度的简捷方法。根据该方法能够很方便地估算出任意外扩散时间下的洁净区宽度,且在洁净区宽度小于20微米范围内,其结果与理论计算值之绝对误差小于1微米。
估算本征吸收技术中洁净区宽度的简捷方法
【摘 要】
：
本文研究了在本征吸收技术中,硅片中氧外扩散后其浓度纵向分布的特点,提出了一种根据氧的外扩散时间来估算本征吸收技术中洁净区宽度的简捷方法。根据该方法能够很方便地估算
【机 构】
：
哈尔滨工业大学航天学院,哈尔滨工业大学
【出 处】
：
哈尔滨工业大学学报
【发表日期】
：
1990年6期
其他文献
本文分析了黑龙江省政府办公厅秘书处档科的原有系统,提出了按国家标准《档案著录规则》的著录项目建立数据库结构的方案,设计了计算机文件档案管理系统。按分类法和主题词法
在研究多Agent技术及其在制造系统中的基础上，分析了Agent的通讯特点，提出了基于合同网的Agent合作过程及协商冲突的解决途径，设计了以KQML作为交互语言，以CORBA标准作为Agent通
对我们研制出来的就地热再生机组的关键部分--加热系统的工作方式和数字显示的控制装置进行了详细的论述.
目前我国的市场疲软虽然有某些缓解,但仍然存在这样那样的困难。如何启动市场,复苏经济,是当前为大家所关心的热题。市场疲软主要表现为两方面特征:一是需求不足。从能源、原
商务成本问题是影响企业决策的重要因素之一，上海科创中心建设的主体是企业，研究并解决上海科创中心建设的商务成本问题具有重要的理论价值和现实意义。为此，本文通过建立一套系
江泽民同志《在庆祝中国共产党成立七十周年大会上的讲话》,对如何建设有中国特色的社会主义经济作了深刻而又精辟的阐述,这对于加快我国社会主义经济建设,实现第二步战略目
本文通过变分方法,利用Hilbert 空间中的闭线性算子,构造了求解第一类算子方程的正则化算法;并证明了按照偏差原理选择的近似解是收敛的.
本文研究由于双Griffith 交界裂纹的存在引起的弹性波散射的远场性态.文中利用积分变换与积分方程的方法,推得了散射波位移场的积分表达式,并将围道积分技术与渐近分析方法相