化学量传感器

来源 :传感器技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:zhijie882008
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pH-ISFET的特性参数可分为电学和电化学特性参数两大类。 一、电学特性及参数 ISFET虽有其特殊性,但仍然是场效应晶体管,与MOSFET所不同的只是它没有金属栅,其被测液代替了MOSFET的金属栅。凡需施加栅压的测试,必须采用参比电极经溶液给栅介质和半导体的表面施加电场。除此之外,从场效应原理上讲并无本质的差别,因此有关MOSFET特性参数的概念均可予以借鉴。 The characteristic parameters of pH-ISFET can be divided into two categories of electrical and electrochemical parameters. First, the electrical properties and parameters ISFET, although its particularity, but is still a field-effect transistor, and MOSFET is different is that it does not have a metal grid, the measured liquid instead of the MOSFET metal grid. Where a gate voltage is to be applied, a reference electrode must be used to apply an electric field to the gate dielectric and the surface of the semiconductor through the solution. In addition, there is no essential difference from the principle of field effect, so the concept of MOSFET characteristic parameters can be used for reference.
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