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在嵌入式存储器以及Logic、Analog等CMOS工艺中,漏电失效分析技术广泛应用。这里介绍了漏电失效分析流程、CMOS电路中的漏电测试项目、漏电失效分析工具,并通过具体案例,对漏电失效分析在CMOS工艺良率提升以及新产品导入上的应用作了详细阐述。
CMOS电路中的漏电失效分析
【摘 要】
：
在嵌入式存储器以及Logic、Analog等CMOS工艺中,漏电失效分析技术广泛应用。这里介绍了漏电失效分析流程、CMOS电路中的漏电测试项目、漏电失效分析工具,并通过具体案例,对漏
【机 构】
：
上海华虹宏力半导体制造有限公司
【出 处】
：
集成电路应用
【发表日期】
：
2017年04期
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