【摘 要】
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对大多数的薄膜检测系统来说,要检测出凝胶、黑斑和污物等典型缺陷并不难。但光学薄膜的质量标准更严格,加工商也要考虑更多的因素,如细微或低对比度的缺陷与划痕,以及材料的
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对大多数的薄膜检测系统来说,要检测出凝胶、黑斑和污物等典型缺陷并不难。但光学薄膜的质量标准更严格,加工商也要考虑更多的因素,如细微或低对比度的缺陷与划痕,以及材料的不均匀性等。对于此类问题,即便是最全面的人工检测也可能会漏检,且人工检测耗时过长,精度也无法与自动化系统相比。不过,自动化检测也存在局限性。虽然这种检测方法的速度比人工快,但无法像人工检测一样改变入射光的角度,因此难免会漏检。
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