【摘 要】
:
半导体制造工艺中使用的高纯金属溅射靶材的利用率直接关系到靶材自身的使用寿命和芯片制作的成本,在靶材研制中需要重点关注。以晶圆制造中广泛应用的高纯铝、铜等靶材为例,
【机 构】
:
北京有色金属研究总院有研亿金新材料股公有限公司,
论文部分内容阅读
半导体制造工艺中使用的高纯金属溅射靶材的利用率直接关系到靶材自身的使用寿命和芯片制作的成本,在靶材研制中需要重点关注。以晶圆制造中广泛应用的高纯铝、铜等靶材为例,介绍了溅射靶材的发展演变,并以靶材使用前后轮廓测量为基础,研究了100~300 mm晶圆制造用靶材的利用率。结果表明,常规靶材随着尺寸增加和溅射工艺的严格控制,靶材利用率减小(<30%)。制备高利用率的大尺寸长寿命靶材,需对靶材的溅射面形貌和靶材厚度等方面进行结构优化设计,经优化设计后的靶材利用率最大可达到50%以上,使用寿命亦显著延长。
其他文献
目的:观察天麻醒脑胶囊治疗后循环缺血性眩晕的疗效。方法:予55例后循环缺血性眩晕病人天麻醒脑胶囊治疗,观察治疗有效率及治疗前后脑干听觉诱发电位(BAEP)的变化。结果:治疗
本地化翻译的职业化发展对翻译教学提出了新要求,传统翻译教学已不再适应市场要求,因此有必要从社会职业学的视角对翻译教学进行重新审视,制定与其紧密相关的课程体系,以满足本地
随着中国依法治国制度和司法改革的不断深入,法律语言在立法、司法、执法、普法领域的价值显得更加重要。隐喻是法律语言中常常被忽视的一部分,对法律隐喻的研究可以提高人们
古代文獻在流傳過程中往往會發生各種複雜的變化而失去原貌,勘正譌誤的校勘工作便應運而生。中國校勘學有著深刻的底蘊與悠久的歷史,形成了獨有的特點。清代,是校勘學發展的
转喻是我们日常生活中常见的一种修辞手段,很多学者都从不同的角度对其进行了研究,如修辞学、文体学、语言学等。认知语言学的发展为转喻的研究提供了新的方向,转喻不再被认
自我验证是上个世纪由美国学者Swann提出来的,自我验证是指个体试图在自我知觉之间以及自我知觉与即将获得的信息之间寻求一致性:我们试图让人们了解我们是谁或相信我们自己将
本文首先由Web挖掘的分类提出了Web使用挖掘,进一步介绍了Web使用挖掘的概念、分类及其采用技术,最后介绍了数据预处理方法以及Web使用挖掘的应用及其下一步将要研究的内容。
通过对感染性休克、低蛋白血症、中度营养不良、坏疽性急性肛周脓肿患者的临床护理观察,病房和床单元消毒隔离是预防交叉感染的重要因素,术后针对卧床患者预防压疮等卧床并发
目的探讨肝硬化上消化道出血的诱因及病因。方法对152例肝硬化上消化道出血患者的临床资料进行回顾性分析,探讨出血发生的常见诱因,并对患者胃镜检查结果进行统计分析。结果
地名属于语言中的专有名词,能够指称不同地域和不同方位,是约定俗成的符号。地名用字的研究对语言文字、地名管理等的研究提供新材料及依据。地名用字研究成果众多,但多以对