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期刊论文
MEMS微梁粘附“突陷”静力分析
MEMS微梁粘附“突陷”静力分析
来源 :机械科学与技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:dlufey
【摘 要】
:
"突陷"现象严重影响着MEMS微梁性能.根据Hamaker微观连续介质修正理论,建立了MEMS微梁同基座粘附力包含斥力的数学模型;分析了微梁的静力平衡关系,发现引起微梁"突陷"的本质
【作 者】
:
田文超
贾建援
【机 构】
:
西安电子科技大学机电工程学院
【出 处】
:
机械科学与技术
【发表日期】
:
2005年1期
【关键词】
:
MEMS
粘附“突陷”
Hamaker微观连续介质修正理论
MEMS
Snap-back
Hamaker micro continuous revision
【基金项目】
:
国家高技术研究发展计划(863计划),西安电子科技大学校科研和教改项目
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"突陷"现象严重影响着MEMS微梁性能.根据Hamaker微观连续介质修正理论,建立了MEMS微梁同基座粘附力包含斥力的数学模型;分析了微梁的静力平衡关系,发现引起微梁"突陷"的本质是弹性力同粘附力的不稳定平衡问题;通过增加微梁刚度,提出一种控制微梁"突陷"发生的方法,并给出仿真结果.
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