【摘 要】
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在半导体晶圆制造过程中,调整设备相关参数来提高晶圆质量的同时会造成换模时间的增加,从而影响生产效率。并且考虑到半导体晶圆制造可重入的特性,论文对带换模约束的可重入
【机 构】
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上海电气集团股份有限公司中央研究院
【基金项目】
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上海市科研计划项目“基于多维度矩阵的智能排程技术”(编号:18DZ1100702)资助。
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在半导体晶圆制造过程中,调整设备相关参数来提高晶圆质量的同时会造成换模时间的增加,从而影响生产效率。并且考虑到半导体晶圆制造可重入的特性,论文对带换模约束的可重入流水车间进行了研究,提出了混合蚁群分布估计算法。首先对该问题进行了问题描述,并以系统makespan最小化为目标建立数学规划模型,随后将分布估计算法融入蚁群算法,以提高蚁群算法的全局搜索能力。最后实验结果验证了所提出算法的有效性。
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