反应直流磁控溅射放电的电流—电压特性

来源 :真空与低温 | 被引量 : 0次 | 上传用户:xiaoc009
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
从理论和实验上深入研究了反应直流磁控溅射放电的电流-电压特性。指出,利用此特性可以判别反应直流磁控溅射过程中靶面状态的变化,从而达到稳定成膜工艺的目的。最后根据结果给出了几点实验结论。 The current-voltage characteristics of reactive DC magnetron sputtering are deeply studied theoretically and experimentally. It is pointed out that this characteristic can be used to discriminate the change of the target state during the reactive DC magnetron sputtering process and thus achieve the purpose of stabilizing the film forming process. Finally, according to the results, some experimental conclusions are given.
其他文献
今年以来,在股市、汇市投资日渐困难的同时,艺术品市场呈现出兴旺景象,各地的拍卖会以及文物店都反映生意比往年好做。在人们将投资焦点转入艺术品市场时,如何判断艺术品的价
一、主要功能: 1、信号自动采集;定点触发、瞬态捕捉,大容量长时间采集分析和记录。 2、数字示波器和十六道磁带记录器功能:可随时开、并、存数据和调波形分析。 3、各种时
Public art struggles to find its place in Chinese society Anew term to most of China’s urban residents, public art has already created an appealing first impre
弱势国家在一个依规则办事的体系里比在一个依权势办事的体系里能更好地维护自身的利益。然而,由于WTO 争端解决谅解条款中关于“特殊与差别待遇”的文字表述不足等原因,发展
本文提出了一个新的高速公路车辆群动态离散非线性模型,应用极大值原理推导了控制方案,并且针对我国大陆上第一条最长的高速公路——沈大公路进行了系统仿真,其结果对高速公
合肥工业大学学报 (自然科学版 ) ,经中国科学院文献情报中心、中国学术期刊 (光盘版 )电子杂志社、中国社会科学院文献信息中心、北京大学图书馆等单位评选认定 ,作为国家级
本文论述了一种新型锅炉——热管锅炉的设计原理和计算方法。并且列出一台试验锅炉的设计参数和部分实验数据,证明按此计算方法所得设计值和实验值比较吻合。 This article
Chinese audiences love the new crop of foreign and domestic 3-D films when China screened its first commercial 3-D film,Journey to the Center of the Earth Chin
在卫星遥感图像的预处理中,通过系统校正可以基本上消除影像内部的变形误差。然而,整幅影像的大地定位误差仍然是很大的,甚至几百米至1公里的数量级。本文介绍利用少量的地面
对真空度影响冻干速率进行了实验研究。实验选取了三种工作压力:13.33Pa,20Pa 和26.67Pa 进行试验。结果表明,在上述压力范围内,压力越高,冻干速率越快。在更广泛压力范围内