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期刊论文
光刻胶特性曲线参数测量的新方法
光刻胶特性曲线参数测量的新方法
来源 :物理与工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户:ydy611
【摘 要】
:
文中通过台阶实验的数据结合光刻胶光栅掩模的槽形,得到光刻胶特性参数,利用这些参数可以模拟出任一曝光量,任一显影时间,任一空频下,光栅掩模的槽形.为今后制作符合要求的光
【作 者】
:
张洪波
【机 构】
:
徐州建筑职业技术学院
【出 处】
:
物理与工程
【发表日期】
:
2010年04期
【关键词】
:
光刻胶
台阶实验
光栅掩模
特性参数
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文中通过台阶实验的数据结合光刻胶光栅掩模的槽形,得到光刻胶特性参数,利用这些参数可以模拟出任一曝光量,任一显影时间,任一空频下,光栅掩模的槽形.为今后制作符合要求的光栅提供有力依据.
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