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微机械(MEMS)与微细加工技术
微机械(MEMS)与微细加工技术
来源 :河北理工学院学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:cl157967874
【摘 要】
:
首先对微机械(MEMS)的分类及其特点作了简明的阐述,在此基础上,着重评介了近年来该领域各种微细加工方法及其能够达到的加工尺度与水平。指出当前微细加工技术仍然在以使用物
【作 者】
:
段润保
赵砚江
毛言理
【机 构】
:
上海交通大学,河北理工学院
【出 处】
:
河北理工学院学报
【发表日期】
:
2004年02期
【关键词】
:
微机械
MEMS
微细加工
特种加工
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首先对微机械(MEMS)的分类及其特点作了简明的阐述,在此基础上,着重评介了近年来该领域各种微细加工方法及其能够达到的加工尺度与水平。指出当前微细加工技术仍然在以使用物理和化学能量的特种加工为主,并呈现加工材料扩大化、产品机构复杂和加工手段复合化的发展态势。
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