【摘 要】
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针对过去的宽带膜厚监控法必须依赖镀制前设定的目标透射率（反射率）的固有缺陷，提出了在蒸镀过程中及时拟合出所镀层的膜厚、色散系数（折射率）等参数，并据此不断修正目标透射率（反射
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针对过去的宽带膜厚监控法必须依赖镀制前设定的目标透射率（反射率）的固有缺陷，提出了在蒸镀过程中及时拟合出所镀层的膜厚、色散系数（折射率）等参数，并据此不断修正目标透射率（反射率）的设想，从而从根本上克服过去的宽带膜厚监控法的固有缺陷。建立了基于修正膜层目标光谱特性的宽带膜厚监控系统，阐述了它的结构和工作原理。进行了稳定性实验及一系列镀膜监控实验，实验结果表明，该系统透射率的重复测量精度优于2‰，膜厚监控精度较高，重复性好，各层的终点膜厚判定精度优于1%。
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