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采用X射线光电子能谱(XPS)对低温离子渗硫层的相结构进行了研究.结果表明,炉气中的氧是渗硫层中存在FeSO4和FeSO3的主要因素.用CS2蒸气作渗硫气源可避免在渗硫层中出现FeSO4和FeSO3,渗硫层中FeS和FeS2的相对量与炉气压力有关.在最佳工艺参数条件下,可获得单一的FeS层.