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椭圆偏振的数据处理一直存在很多困难，本文是作者从事椭偏数据分析工作的经验总结。介绍了椭偏数据分析中光谱选择范围的依据，提出了初步判别材料性质的方法，研究了一些常用模型及其应用范围，阐述了针对不同类型样品的数据分析方法，并分析了初始参数对分析结果的影响，为椭圆偏振的数据分析提供了快速易行的方法。
薄膜材料的椭圆偏振数据分析方法
【摘 要】
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椭圆偏振的数据处理一直存在很多困难，本文是作者从事椭偏数据分析工作的经验总结。介绍了椭偏数据分析中光谱选择范围的依据，提出了初步判别材料性质的方法，研究了一些常用模型
【机 构】
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上海交通大学分析测试中心
【出 处】
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光谱实验室
【发表日期】
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2010年1期
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