【摘 要】
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基于空间频率的概念，提出磁流变抛光非球面表面波像差的相移评价算法，根据位相与表面高度差之间的关系，计算出元件表面上各点的实际高度差．通过规划表面残余误差与抛光工艺参数之
【机 构】
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清华大学精密仪器与机械学系,北京理工大学信息技术学院
【基金项目】
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国家高技术研究发展计划资助项目（2001AA421140）,国家自然科学基金资助项目（50175062）.
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基于空间频率的概念，提出磁流变抛光非球面表面波像差的相移评价算法，根据位相与表面高度差之间的关系，计算出元件表面上各点的实际高度差．通过规划表面残余误差与抛光工艺参数之间的关系，确定能够有效消除表面残余误差的磁流变抛光工艺规范，制造成功在20mm通光口径内面形精度达到20nm RMS（均方根值）的非球面曲面．该方法克服了传统评价方法的局限性，为深入开展纳米精度磁流变抛光技术提供有力的技术储备．
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