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采用双透镜组的结构引入补偿镜,使工作波长和装调波长共像面。采用有限元分析方法对机械系统的设计结果进行模态分析,结果表明,该曝光系统具有较高的波前质量和系统稳定性。
一种全息光栅曝光系统结构
【摘 要】
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采用双透镜组的结构引入补偿镜,使工作波长和装调波长共像面。采用有限元分析方法对机械系统的设计结果进行模态分析,结果表明,该曝光系统具有较高的波前质量和系统稳定性。
【机 构】
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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
【出 处】
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长春工业大学学报：自然科学版
【发表日期】
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2014年6期
【基金项目】
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吉林省科技发展计划项目（20126012）, 吉林省科技厅青年科研基金项目（20100127）
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