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用椭偏测厚仪可以测量薄膜一个周期内的厚度和折射率.本文从理论上分析了采用变入射角确定薄膜的真实厚度时,存在最大可测厚度周期数和最大可测薄膜真实厚度,同时用图形形象描述了周期数、厚度周期、一个周期内的厚度、真实厚度之间的关系及它们与入射角的关系.
椭偏测厚仪确定薄膜真实厚度的分析
【摘 要】
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用椭偏测厚仪可以测量薄膜一个周期内的厚度和折射率.本文从理论上分析了采用变入射角确定薄膜的真实厚度时,存在最大可测厚度周期数和最大可测薄膜真实厚度,同时用图形形象
【机 构】
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华南师范大学物理与电信工程学院
【出 处】
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大学物理
【发表日期】
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2008年01期
【基金项目】
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广东省工业攻关资助项目(C60109);广东省科技计划资助项目(2006B12901020)
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