20W级高稳定度高效率XeCl准分子激光器的研究

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报道了一台中功率高稳定度高效率实用型XeOl准分子激光器及其工作特性.最大单脉冲能量为405mJ,最大平均功率达到3lW.不同电压下的转换效率均大于1.4%,最高达1.8%.在工作电压为22kV左右时进行10~6次寿命试验,其输出功率保持15W,波动性小于±7%.
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钟敏霖,男,清华大学材料学院长聘教授,博士生导师,激光材料加工研究中心主任;美国激光学会(LIA)现任秘书长、执行董事会成员、候任主席(2018),会士;国际光电子与激光工程学会(IAPLE)前任主席、会士。
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