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金刚石薄膜的制备及透射率研究
金刚石薄膜的制备及透射率研究
来源 :西安邮电大学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:liuxinjialo
【摘 要】
:
用磁控溅射法制备金刚石薄膜,研究了工作气压、溅射电流、镀膜时间三个参数对金刚石薄膜透射率的影响。得到最佳工艺参数:工作气压1.3Pa,溅射电流0.4A,镀膜时间2min。镀制的
【作 者】
:
李云
【机 构】
:
西安邮电大学理学院
【出 处】
:
西安邮电大学学报
【发表日期】
:
2012年S1期
【关键词】
:
磁控溅射
金刚石薄膜
透射率
magnetron sputtering
diamond film
transmittance
【基金项目】
:
陕西省教育厅科研基金资助项目(2010JK844)
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用磁控溅射法制备金刚石薄膜,研究了工作气压、溅射电流、镀膜时间三个参数对金刚石薄膜透射率的影响。得到最佳工艺参数:工作气压1.3Pa,溅射电流0.4A,镀膜时间2min。镀制的金刚石薄膜可以作为红外元件的保护膜与增透膜。
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