【摘 要】
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提出了一种化学腐蚀掺铒光纤制作微型光纤法布里-珀罗干涉传感器的方法。通过对掺铒光纤进行化学腐蚀，形成凹槽，再与单模光纤直接熔接制作而成。实验制作的微型法布里-珀罗干涉
【机 构】
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电子科技大学宽带光纤传输和通信网技术教育部重点实验室,重庆大学光电技术与系统教育部重点实验室
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提出了一种化学腐蚀掺铒光纤制作微型光纤法布里-珀罗干涉传感器的方法。通过对掺铒光纤进行化学腐蚀，形成凹槽，再与单模光纤直接熔接制作而成。实验制作的微型法布里-珀罗干涉传感器干涉条纹光滑，对比度达到15dB。对该微型光纤法布里珀罗干涉腔进行了应变和温度传感实验。实验结果表明，在0-600με￡内，波谷移动随应变改变的灵敏度达到1．7pm／με，线性度为0．9998，从73～23℃，波谷移动随温度改变的灵敏度3．9pm／℃，线性度为0．9982。该方法制作的微型光纤法布里-珀罗传感器具有操作简单，一次成型，制
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