【摘 要】
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复旦大学物理系激光研究室从1984年开始软X光反射镜的研制工作。六年来,进行了超薄多层膜的膜厚监控的方法研究、单层超薄金属膜的特性研究、Ni-C和Mo-Si多层膜软X光反射镜的
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复旦大学物理系激光研究室从1984年开始软X光反射镜的研制工作。六年来,进行了超薄多层膜的膜厚监控的方法研究、单层超薄金属膜的特性研究、Ni-C和Mo-Si多层膜软X光反射镜的制备与测试以及用PVD与LB技术相结合制备软X光反射镜。本文详细介绍了这些工作。
Department of Physics, Fudan University, Department of Laser Since 1984 soft X-ray mirror development work. In the past six years, the methods of monitoring the thickness of ultrathin multilayers, the properties of single-layer ultra-thin metal films, the preparation and testing of Ni-C and Mo-Si multilayers soft X-ray reflectors, Combine with the LB technology to prepare soft X-ray reflectors. This article details these efforts.
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