论文部分内容阅读
考察了氮气、氢气、氦气、丙烷、氩气等5处气体对两种不同孔径大小的底的渗透性能,实验结果表明气体主要以粘性流机制通过底的,使用溶胶-凝胶技术在两种底幕制箅了γ-Al2O3复合膜,用渗透方法检验了底膜上γ-Al2O3顶膜的完整性,并探讨了底膜的孔的大小对顶膜完整性的影响,在孔径较小的底膜Y上,经过两两次浸涂,能形成完整的的顶在孔径较小的底膜,气体主要是以森散机理通过该