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本文通过镀膜室工艺气体流量的大小对镀膜玻璃膜层理化性能、生产效率的试验和理论分析，证明可以用非常简单的方法提高镀膜玻璃的耐研磨、耐酸碱等理化性能和生产效率。
磁控溅射镀膜中工艺气体流量的调整
【摘 要】
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本文通过镀膜室工艺气体流量的大小对镀膜玻璃膜层理化性能、生产效率的试验和理论分析，证明可以用非常简单的方法提高镀膜玻璃的耐研磨、耐酸碱等理化性能和生产效率。
【机 构】
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洛玻集团洛阳新晶润工程玻璃有限公司
【出 处】
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中国玻璃
【发表日期】
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2009年2期
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