【摘 要】
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为了实现蓝宝石基底上双截止透可见区的特性(截止带波长为0.3~0.4μm、0.8~1.1μm,通带波长为0.4~0.8μm),初始结构采用双截止膜系,可截止近紫外和近红外,在蓝宝石基底的一侧
【机 构】
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江南大学理学院,江苏省轻工光电工程技术研究中心,浙江贝盛光伏股份有限公司
【基金项目】
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国家自然科学基金项目(No.60908041);上海市全固态激光器与应用技术重点实验室开放课题(No.2012ADL03);江苏省研究生创新项目(No.SJLX16_0492)资助
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为了实现蓝宝石基底上双截止透可见区的特性(截止带波长为0.3~0.4μm、0.8~1.1μm,通带波长为0.4~0.8μm),初始结构采用双截止膜系,可截止近紫外和近红外,在蓝宝石基底的一侧实现可见光高透的宽通带滤光片,选用TiO2和SiO2分别作为薄膜高、低折射率材料,来实现双波段截止的目的,薄膜的设计层数为42层,总厚度是3.6μm,采用电子束蒸发物理气相沉积法来实现镀制,并通过分光光度计测试镀制样品的透射率,测试结果显示截止区(0.3~0.385μm和0.824~1.1μm),平均截止深度分别达到了
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