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为了降低RFMEMS开关的驱动电压,根据扭转力学和应变力学理论,提出了基于扭转RFMEMS的开关模型,建立了相关数学公式,给出了加工工艺流程,并仿真得到了不同条件下RFMEMS开关的电机械性能.工艺仿真结果表明:完全可以利用已有生产流程制造基于扭转的RFMEMS开关.性能仿真结果表明:在同等条件下,采用扭转机制,RFMEMS开关的制动电压将降低30%。